談到半導體、面板等生產線,大家不免會想到「無塵室」,從字面上來看,「無塵室」一詞就是讓產線中不會出現灰塵或顆粒較大的空氣分子,以免影響極為精細的半導體線路或表面極為平整的面板。要達到高科技產線無塵要求,就必須透過真空泵浦排除產線中的空氣雜質粒子,凌華科技表示,由此可看出真空泵浦的重要,此設備一旦無預警停擺或效能有問題,整條產線的產能和良率都會受影響。

凌華科技接著指出,這幾年 5G、AI、自駕車等技術相繼成熟,市場迎來智慧化浪潮,市場的 IC 需求大爆發,全球半導體、光電面板產能吃緊,真空泵浦的穩定性更顯重要,「要讓真空泵浦穩定運作,業者必須精準監控設備的運作狀態,並利用專業軟體平台分析數據,從而制定出預先維修排程,才能讓產能如期如質的開出。」

缺乏系統化維護保養模式,成乾式真空泵浦硬傷

目前主流真空泵浦為乾式架構,這類具備低功耗、無廢水廢油真空泵浦廣為半導體及面板製造業採用,已是產線中不可或缺的設備。儘管重要性如此高,業界卻一直缺乏系統化的維護保養模式,過去是經由製造現場資深技師的經驗判斷設備是否正常。

在智慧製造概念出現後,市面上雖出現預知保養系統,不過這類系統還是只將收集到的設備數據直接轉拋出去,生管人員必須花費大量時間分析、判斷數量龐大的數據,方能進行後續維修動作。這種只有設備數據擷取功能的預知保養系統,已無法滿足現在半導體與面板業需求。

凌華科技點出,業者需要的預知保養系統必須有兩大重點,一是可以完整掌握乾式泵浦運作狀態,二是有此領域專家特別設計的分析軟體,這類解決方案給的不是一堆龐雜的「數據」,而是已經預先處理過的「資訊」,「凌華科技與譜威科技攜手打造的智慧泵浦監控解決方案,就具備上述兩大特點,可以有效率的協助製造業者優化管理效益。」

資料擷取技術專家凌華、譜威強強聯手,成為製程優化最佳助力

「凌華與譜威都是深耕資料擷取技術多年的專家,優勢互補的雙方在此領域已經合作多年,可說是強強聯手。」凌華科技專注硬體設計,所打造的資料擷取設備已被廣泛應用於產業第一線,可深切掌握製造現場的各種需求。此次推出的解決方案就是專為監控乾式真控泵浦所設計,這款產品最高可偵測 2 組泵浦、4 個感測器,並且可用於螺旋式與爪式兩種主流乾式真空泵浦。

乾式真空泵浦監控解決方案不僅能完整的偵測設備振動數據,同時也具備邊緣運算功能,此解決方案內建譜威科技特別針對乾式真控泵浦振動編寫的演算法。

譜威科技監測事業部經理徐國彬進一步表示,這套演算法提供了健康度、早期指標與診斷指標,OT 人員可在系統介面上直觀了解設備的健康程度、判斷泵浦是否進入損壞初期、掌握軸心軸承等關鍵零組件狀態,藉此制定設備維修排程。

「除了 OT 部門外,此解決方案對企業營運、IT 管理與製程優化等層面也有明顯效益。」凌華科技表示,企業營運者可精準掌握乾式真空泵浦的設備生命週期,讓資本支出的成效最佳化,IT 系統因原始數據(Raw data)已於邊緣端預處理,資料中心的頻寬與儲存負荷可大幅降低,製程團隊則可利用邊緣端回饋的關鍵參數改善流程、提升產能與良率,已預先處理過的資訊也能降低管理人員工作負擔,將心力聚焦於製程優化。

圖片說明:譜威科技監測事業部經理徐國彬表示,OT 人員可在系統介面上直觀了解設備的健康程度、判斷泵浦是否進入損壞初期、掌握軸心軸承等關鍵零組件狀態,藉此制定設備維修排程。

製造業需求迫切,助攻半導體產線有感!

目前此解決方案已為全球大型半導體製造業者採用,透過隨插即用與遠端監控,將系統的配置開發時間縮短 1/3,且可達到預期的生產效率。在此同時,該廠商還善用預測分析功能,有效減少設備的意外故障機率,大幅提升 OEE(整體設備效率)。

另一廠商則是藉由邊緣端的數據預處理功能降低系統傳輸頻寬,並且分析邊緣端回饋的資料調整製程,成功提升 3% 生產效率與 2% 良率,對產能極大的半導體製造業而言,成效非常顯著。

「近年來產業環境變化快速,市場對半導體與面板的需求越來越高,單純提供設備數據的預診斷系統,已經無法因應製造業的迫切需求。」凌華科技表示,新世代設備診斷系統對資料擷取與振動的要求更高,兼具這兩者專業的乾式真空泵浦監控解決方案,不僅可解決 OT 部門的設備管理痛點,也可提升營運、IT、製程等環節的工作效益,協助業者系統化掌握乾式真空泵浦資訊,讓高穩定關鍵設備成為產線產能最堅實的後盾。

(本文提供合作夥伴轉載。)