台積電促建的國內第一座民營再生水廠「台積電南科再生水廠」於今（19）日正式通水，這是全球首度將工業再生水用於半導體生產。台積電將持續與政府合作，並預計於 2030 年達到台灣廠區再生水替代率 60% 的目標。
台積電南科再生水廠是由中鼎興建營運，為國內第一座民營再生水廠。此座再生水廠與政府建造的再生水廠差異在於，政府使用的是民生污水，而台積電使用的是工業廢水。根據台積電說法，台積電南科再生水廠是全球第一個導入再生水的先進晶圓廠。
台積電表示，工業廢水的再生技術與品質控管難度高，因此他們自 2015 年起就發展再生水技術，並於 2016 年打造全國第一條半導體工業再生水試產線，回收處理工業放流水、企圖降低自來水用量。
為打造高效且周密的水管理網絡，台積電於 2020 年啟動台積電南科再生水廠建廠工程，原預計於去年 3 月啟動供水，但因從小型試產線推進到大型的再生水廠有其難度，今日才舉行通水典禮。
♦︎ TO 推薦閱讀：台積電一滴水用 3.5 次！水資源危機正成為一股新商機
解決水資源勢在必行，台積電盼 2030 再生水替代率達 60%
對於半導體製造廠而言，水資源充沛與否至關重要，除了會影響晶圓製程良率，更可能左右整座晶圓廠的運作。
此外，由於現今的晶圓線路越來越精細，無論是製程中使用的化學原料或晶圓本身製造加工到封裝測試，都需要使用比自來水還要乾淨 1000 倍的「超純水」。
事實上，半導體產業用水量之驚人，晶圓巨擘英特爾（Intel）曾於報告中指出，他們一年平均會消耗 340 億公升的自來水。為因應氣候、環保以及不與民生「搶水」的問題，開源節流對於半導體業者而言勢在必行。
據悉，台積電南科再生水廠預計 2023 年供水量增至每日 2 萬公噸，台南永康及安平的再生水廠供水量也將逐步擴增。台積電南科廠區預計 2024 年每日再生水用量將達 7.6 萬公噸。
同時，台積電也指出，他們將持續與政府合作，不排除於竹科和中科興建再生水廠，使台灣廠區有望於 2030 年再生水替代率達 60%。
》下載 TOxVO 台灣中高階主管職場秘笈《
